開爾文探針掃描提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級納米技術研究，其與標準型號顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時，探針電流提高了10倍。

　　探針掃描廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。

　　探針掃描具有完整高效的檢測系統(tǒng)、高的分辨率以及簡便的操作方式，物鏡設計將靜電場與磁場結合，可提升光學性能的同時將場發(fā)射對樣品的損傷降低，此設計確保了成像質量，即使是較具挑戰(zhàn)性的磁性材料也同樣可以達到良好的成像效果。

　　開爾文探針掃描通過二次電子和背散射電子的檢測也使得高效率的信號探測成為可能，探測器安裝在光軸上，可以減少調整時間，可降低成像時間。電子束加速器技術確保了小的探針尺寸和高的信噪比，以達到低的加速電壓。