隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過(guò)利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...
真空快速退火爐廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、粉末冶金等領(lǐng)域。在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中,為了保證其正常工作,必須對(duì)其氣密性進(jìn)行檢查。本文將介紹如何對(duì)真空退火爐進(jìn)行氣密性檢查。氣密性是指物體不透氣的能力。在真空退火爐中,氣密性指的是系統(tǒng)的真空狀態(tài)是否穩(wěn)定,并且系統(tǒng)內(nèi)外壓力差異是否小于一定范圍。因此,我們需要通過(guò)以下步驟來(lái)檢查氣密性。第一步:準(zhǔn)備工作檢查前需要關(guān)閉真空退火爐,并確保其處于常溫下。同時(shí),需要準(zhǔn)備柿子水或其他檢漏劑。第二步:覆蓋檢漏劑用柿子水或其他檢漏劑涂抹到所有可能漏氣的部位,例如接...
一、掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。其中曝光機(jī)就是利用紫外線通過(guò)模版去除晶圓表面的保護(hù)膜的設(shè)備。一片晶圓可以制作數(shù)十個(gè)集成電路,根據(jù)模版曝光機(jī)分為兩種:模版和晶圓大小一樣,模版不動(dòng)。模版和集成電路大小一樣,模版隨曝光機(jī)聚焦部分移動(dòng)。二、利用模版去除晶圓表面的保護(hù)膜。將晶圓浸泡在腐化劑中,失去保護(hù)膜的部分被腐蝕掉后形成電路。用純水洗凈殘留在晶圓表面的雜質(zhì)。其中模版隨曝光機(jī)移動(dòng)的...
快速動(dòng)力學(xué)停流裝置是一種針對(duì)液體管道快速停流而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化裝置,通過(guò)迅速關(guān)閉管道的閥門,實(shí)現(xiàn)迅速停止液體流動(dòng)的目的。然而,由于其復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和工作原理,一旦出現(xiàn)故障問(wèn)題,不僅會(huì)影響工作效率,還可能對(duì)工作安全造成威脅。下面就對(duì)常見(jiàn)故障進(jìn)行分析,提出相應(yīng)的處理方法。一,裝置無(wú)法停止液體流動(dòng)的情況。這種情況可能是由于無(wú)法正常關(guān)閉閥門導(dǎo)致的,應(yīng)該首先檢查閥門是否損壞或閥門控制系統(tǒng)是否存在其他問(wèn)題。其次,如果液體壓力太高或管道出現(xiàn)堵塞等問(wèn)題也可能使得快速動(dòng)力學(xué)停流裝置無(wú)法正常工作,需要仔...
磁控濺射鍍膜機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于制備高質(zhì)量薄膜的儀器,其具有許多應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。以下將詳細(xì)闡述該鍍膜機(jī)的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。一,具有快速、可靠、高效的鍍膜效果。該機(jī)器采用高能量的離子束轟擊材料表面,使原料在真空環(huán)境中蒸發(fā),產(chǎn)生高純度、均勻、致密、硬度高的薄膜,并具有優(yōu)良的附著力和穩(wěn)定性。這種薄膜不僅可以用于保護(hù)、裝飾和改性,還可以用于制造新材料和開(kāi)發(fā)新技術(shù)。二,具有高度可控性。通過(guò)調(diào)節(jié)離子束能量、材料的化學(xué)成分、沉積速率等參數(shù),可以制備出具有不同特性和功能的薄膜。例如,可以制備出透明導(dǎo)電膜、防...
快速化學(xué)淬滅系統(tǒng)是一種用于處理火災(zāi)的裝置,它利用化學(xué)反應(yīng)迅速滅火,并防止火勢(shì)擴(kuò)大。該系統(tǒng)通常包括一個(gè)罐裝化學(xué)淬滅劑的壓力罐和一個(gè)自動(dòng)噴頭裝置。當(dāng)火災(zāi)發(fā)生時(shí),系統(tǒng)通過(guò)火災(zāi)探測(cè)器檢測(cè)到火災(zāi),然后自動(dòng)釋放化學(xué)淬滅劑,并利用噴頭將其噴出,以達(dá)到滅火和防止火勢(shì)擴(kuò)大的目的。化學(xué)淬滅劑通常是具有高壓縮能和化學(xué)反應(yīng)性的化學(xué)物質(zhì),可以迅速抑制火焰并降低溫度。這種系統(tǒng)常用于需要快速滅火的場(chǎng)所,如油氣、化工和電子設(shè)備制造等行業(yè)中的生產(chǎn)場(chǎng)所??焖倩瘜W(xué)淬滅系統(tǒng)是一種特殊的消防系統(tǒng),它可以快速、有效地滅...
一、原理分析:(1)開(kāi)爾文四線檢測(cè)(KelvinFour-terminalsensing)也被稱之為四端子檢測(cè)(4T檢測(cè),4Tsensing)、四線檢測(cè)或4點(diǎn)探針?lè)?,它是一種電阻抗測(cè)量技術(shù),使用單獨(dú)的對(duì)載電流和電壓檢測(cè)電極,相比傳統(tǒng)的兩個(gè)終端(2T)傳感能夠進(jìn)行更精確的測(cè)量。(2)開(kāi)爾文四線檢測(cè)被用于一些歐姆表和阻抗分析儀,并在精密應(yīng)變計(jì)和電阻溫度計(jì)的接線配置。也可用于測(cè)量薄膜的薄層電阻。四線檢測(cè)的關(guān)鍵優(yōu)點(diǎn)是分離的電流和電壓的電極,消除了布線和接觸電阻的阻抗。二、作用過(guò)程概述...
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